產品與技術
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Bhadra?真空成型LVA400
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硅基半導體器件用LPCVD Pindola?系列PLX300型
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硅基半導體器件用擴散爐Pindola?系列PRX300型
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硅基半導體器件用氧化爐Pindola?系列POX300型
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硅基半導體器件用退火爐Pindola?系列PAX300型
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硅基半導體器件用ALD Pindola?系列Piax150型
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SiC/GaN基半導體器件用Bhadra?系列BHA200型超高溫退火爐
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SiC/GaN基半導體器件用Bhadra?系列BHO200型超高溫氧化爐
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