產品與技術
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拉普拉斯低壓水平磷擴散系統 LRP370/05
拉普拉斯低壓水平磷擴散系統 LRP370/05
拉普拉斯低壓水平硼擴散系統 LRB370/05
拉普拉斯低壓水平硼擴散系統 LRB370/05
拉普拉斯低壓水平氧化退火系統 LOX370/05
拉普拉斯低壓水平氧化退火系統  LOX370/05
拉普拉斯低壓水平化學氣相沉積鍍膜系統 LPCVD LLP370/05
拉普拉斯低壓水平化學氣相沉積鍍膜系統 LPCVD LLP370/05
拉普拉斯低壓水平多功能熱處理系統 LMR370/05
拉普拉斯低壓水平多功能熱處理系統 LMR370/05
拉普拉斯等離子增強化學氣相沉積鍍膜系統 PECVD Twin LPE430/10
拉普拉斯等離子增強化學氣相沉積鍍膜系統 PECVD Twin LPE430/10
拉普拉斯等離子增強化學氣相沉積水平鍍膜系統 PECVD VEGA LVG400/0X
拉普拉斯等離子增強化學氣相沉積水平鍍膜系統 PECVD VEGA LVG400/0X
拉普拉斯水平等離子增強原子層沉積水平鍍膜系統 PEALD LAD400/04
拉普拉斯水平等離子增強原子層沉積水平鍍膜系統 PEALD LAD400/04